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J-50MUV-193 s/difusor
Especialmente diseñados para trabajar con KrF a 248nm ArF a 193nm. Todos los sensores tienen un diámetro de 50 mm y trabajan a una repetición máxima de 200pps. Excepto el J25.MUV en sus dos versiones tienen un diámetro de 25,25 y trabajan a máximo 400pps.
- Rango de energía: 125 µJ hasta 250 mJ
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